MCVS Series Controller là phiên bản cao cấp nhất trong họ vacuum controller của Alicat Scientific, kết hợp chống ăn mòn và van chốt khí nén tích hợp. Lựa chọn tối ưu cho quy trình chân không đòi hỏi cả độ bền hóa học lẫn khả năng ngắt dòng khí kín tuyệt đối.
|
20 SLPM
Lưu lượng tối đa
|
128+
Loại khí hiệu chuẩn
|
±0,2%
Độ lặp lại (FS)
|
1x10⁻⁹
Độ kín rò rỉ (atm-cc/giây He)
|
Thông số kỹ thuật
MCVS Series Controller
Vì sao chọn MCVS Series
Điểm nổi bật
|
|
||||
|
|
||||
|
|
Ứng dụng thực tế
MCVS Series Controller được sử dụng trong
|
01
Phủ màng mỏng với khí ăn mòn
Kiểm soát khí ăn mòn chính xác và kín tuyệt đối trong buồng chân không
|
02
Sản xuất bán dẫn cao cấp
Ứng dụng cho quy trình cần cả chống ăn mòn lẫn ngắt dòng khí
|
03
Hệ thống chân không hóa chất
Điều khiển khí ăn mòn trong quy trình hút chân không chuyên dụng
|
|
04
Kiểm tra rò rỉ với khí ăn mòn
Ứng dụng cần độ kín tuyệt đối khi ngắt dòng khí ăn mòn
|
05
Nghiên cứu vật liệu màng mỏng
Ứng dụng trong phòng thí nghiệm nghiên cứu coating tiên tiến
|
06
Xử lý bề mặt bằng khí ăn mòn
Ứng dụng trong etching, sputtering với khí ăn mòn
|
Cần tư vấn chọn đúng model MCVS Series?
Đội ngũ kỹ sư NNT Vietnam – nhà phân phối độc quyền Alicat tại Việt Nam – hỗ trợ tư vấn cấu hình và báo giá miễn phí.
Gọi ngay 0988 006 378
