MCES Series Controller là phiên bản chống ăn mòn theo chuẩn khung SEMI của Alicat Scientific, dành cho ứng dụng chân không cần làm việc với khí ăn mòn. Kết hợp độ bền vật liệu cao với khả năng lắp đặt tương thích chuẩn SEMI.
|
20 SLPM
Lưu lượng tối đa
|
10.000:1
Tỷ lệ turndown
|
128+
Loại khí hiệu chuẩn
|
SEMI
Chuẩn khung lắp đặt
|
Thông số kỹ thuật
MCES Series Controller
Vì sao chọn MCES Series
Điểm nổi bật
|
|
||||
|
|
||||
|
|
Ứng dụng thực tế
MCES Series Controller được sử dụng trong
|
01
Sản xuất bán dẫn với khí ăn mòn
Lắp đặt chuẩn SEMI trong quy trình chế tạo wafer, chip sử dụng khí đặc biệt
|
02
Phủ màng mỏng ăn mòn (CVD/ALD/PVD)
Kiểm soát khí ăn mòn chính xác trong buồng chân không phủ màng
|
03
Nâng cấp thay thế thiết bị cũ
Thay thế dòng MCE cho ứng dụng chống ăn mòn
|
|
04
Xử lý bề mặt bằng khí ăn mòn
Ứng dụng trong etching, sputtering với khí ăn mòn
|
05
Nghiên cứu vật liệu màng mỏng
Ứng dụng trong phòng thí nghiệm nghiên cứu coating tiên tiến
|
06
Hệ thống chân không hóa chất
Điều khiển khí ăn mòn trong quy trình hút chân không chuyên dụng
|
Cần tư vấn chọn đúng model MCES Series?
Đội ngũ kỹ sư NNT Vietnam – nhà phân phối độc quyền Alicat tại Việt Nam – hỗ trợ tư vấn cấu hình và báo giá miễn phí.
Gọi ngay 0988 006 378
