MCV Series Controller

Mã sản phẩm: MCV Series Controller

Chính Hãng Alicat Scientific

Dải đo: 0,5 SCCM – 20 SLPM

Đặc điểm: Tích hợp van chốt khí nén (pneumatic shutoff valve), độ kín rò rỉ cực thấp

Loại: Bộ điều khiển khí chân không có van chốt – dòng MCV

Thương hiệu: Alicat Scientific (Mỹ) – NNT Vietnam phân phối độc quyền

Liên hệ báo giá ngay

Liên hệ

Chia sẻ:

Thông tin sản phẩm

MCV Series Controller là dòng bộ điều khiển lưu lượng khí Alicat Scientific chuyên dụng cho hệ thống chân không, tích hợp sẵn van chốt khí nén (pneumatic shutoff valve) với độ kín rò rỉ cực thấp, phù hợp cho các quy trình CVD, ALD, PVD và coating.

20 SLPM

Lưu lượng tối đa

10.000:1

Tỷ lệ turndown

Loại khí hiệu chuẩn

1x10⁻⁹

Độ kín rò rỉ (atm-cc/giây He)

Thông số kỹ thuật

Thông số	Giá trị
Công nghệ đo	Laminar Differential Pressure (DP)
Dải lưu lượng full scale	0,5 SCCM – 20 SLPM
Độ chính xác	Tốt nhất ±0,5% giá trị đọc hoặc ±0,1% full scale
Dải điều khiển (turndown)	0,01% – 100% full scale (10.000:1)
Số loại khí hiệu chuẩn	98 loại khí cài sẵn
Van chốt khí	Tích hợp van khí nén (pneumatic), độ kín rò rỉ 1x10⁻⁹ atm-cc/giây Heli tối đa
Độ lặp lại (repeatability)	Tốt nhất ±(0,1% giá trị đọc + 0,02% full scale)
Áp suất vận hành	11,5 – 160 PSIA
Giao thức truyền thông	RS-232/485, Analog, Modbus RTU/TCP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
Kết nối quy trình	VCR (mặc định), Compression, hoặc VCO
Cấp bảo vệ	IP40 (mặc định); tùy chọn IP66, IP67
Bảo hành	Trọn đời có giới hạn

Vì sao chọn MCV Series

Điểm nổi bật

01	Van chốt khí tích hợp sẵn Không cần lắp thêm van ngoài, tiết kiệm không gian

02	Độ kín rò rỉ cực thấp 1x10⁻⁹ atm-cc/giây Heli, an toàn cho quy trình chân không

03	Turndown 10.000:1 Kiểm soát chính xác trên dải rộng, giảm số lượng thiết bị

04	Độ lặp lại cao ±(0,1% giá trị đọc + 0,02% full scale)

05	98 khí hiệu chuẩn sẵn Linh hoạt đổi khí mà không mất độ chính xác

06	Bảo hành trọn đời có giới hạn Cam kết chất lượng dài hạn từ Alicat Scientific

Ứng dụng thực tế

MCV Series Controller được sử dụng trong

01 Phủ màng mỏng (CVD/ALD/PVD) Kiểm soát khí chính xác trong buồng chân không phủ màng	02 Sản xuất bán dẫn Tích hợp vào dây chuyền chế tạo wafer, chip	03 Hệ thống chân không công nghiệp Điều khiển khí trong các quy trình hút chân không chuyên dụng
04 Kiểm tra rò rỉ chân không Ứng dụng cần độ kín tuyệt đối khi ngắt dòng khí	05 Nghiên cứu vật liệu màng mỏng Ứng dụng trong phòng thí nghiệm nghiên cứu coating tiên tiến	06 Xử lý bề mặt chân không Ứng dụng trong etching, sputtering và xử lý bề mặt