SFF Series Controller

Mã sản phẩm: SFF Series Controller

Chính Hãng Alicat Scientific

Dải đo: 0,5 SCCM – 20 SLPM

Đặc điểm: Chuẩn khung SEMI, phụ kiện gia công tiện lợi, thay thế dòng MCE

Loại: Bộ điều khiển khí chân không chuẩn khung SEMI – dòng SFF

Thương hiệu: Alicat Scientific (Mỹ) – NNT Vietnam phân phối độc quyền

Liên hệ báo giá ngay

Liên hệ

Chia sẻ:

Thông tin sản phẩm

SFF Series Controller là dòng bộ điều khiển khí chân không của Alicat Scientific theo chuẩn khung SEMI (SEMI standard footprint), dễ dàng thay thế cho các thiết bị cũ dòng MCE. Thiết kế phụ kiện gia công (machined fittings) giúp giảm số bề mặt cần làm kín, tăng độ tin cậy.

20 SLPM

Lưu lượng tối đa

10.000:1

Tỷ lệ turndown

Loại khí hiệu chuẩn

SEMI

Chuẩn khung lắp đặt

Thông số kỹ thuật

Thông số	Giá trị
Công nghệ đo	Laminar Differential Pressure (DP)
Dải lưu lượng full scale	0,5 SCCM – 20 SLPM
Độ chính xác	Tốt nhất ±0,5% giá trị đọc hoặc ±0,1% full scale
Dải điều khiển (turndown)	0,01% – 100% full scale (10.000:1)
Số loại khí hiệu chuẩn	98 loại khí cài sẵn
Nhiệt độ vận hành	−10°C đến +60°C
Chuẩn khung (form factor)	SEMI standard footprint, thay thế dòng MCE Series
Kết nối	Phụ kiện gia công (machined fittings), giảm số bề mặt cần làm kín
Giao thức truyền thông	RS-232/485, Analog, Modbus RTU/TCP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
Cấp bảo vệ	IP40 (mặc định); tùy chọn IP66, IP67
Bảo hành	Trọn đời có giới hạn

Vì sao chọn SFF Series

Điểm nổi bật

01	Chuẩn khung SEMI Dễ dàng thay thế thiết bị cũ, tương thích hệ thống có sẵn

02	Thay thế trực tiếp dòng MCE Nâng cấp không cần thiết kế lại hệ thống

03	Phụ kiện gia công liền khối Giảm số bề mặt cần làm kín, tăng độ tin cậy

04	Turndown 10.000:1 Kiểm soát chính xác trên dải rộng

05	98 khí hiệu chuẩn sẵn Linh hoạt đổi khí mà không mất độ chính xác

06	Bảo hành trọn đời có giới hạn Cam kết chất lượng dài hạn từ Alicat Scientific

Ứng dụng thực tế

SFF Series Controller được sử dụng trong

01 Sản xuất bán dẫn Lắp đặt theo chuẩn SEMI trong dây chuyền chế tạo wafer, chip	02 Nâng cấp thay thế thiết bị cũ Thay thế trực tiếp dòng MCE mà không cần đổi khung lắp đặt	03 Phủ màng mỏng (CVD/ALD/PVD) Kiểm soát khí chính xác trong buồng chân không phủ màng
04 Hệ thống chân không công nghiệp Điều khiển khí trong các quy trình hút chân không chuyên dụng	05 Nghiên cứu vật liệu màng mỏng Ứng dụng trong phòng thí nghiệm nghiên cứu coating tiên tiến	06 Xử lý bề mặt chân không Ứng dụng trong etching, sputtering và xử lý bề mặt

Cần tư vấn chọn đúng model SFF Series?

Đội ngũ kỹ sư NNT Vietnam – nhà phân phối độc quyền Alicat tại Việt Nam – hỗ trợ tư vấn cấu hình và báo giá miễn phí.

Gọi ngay 0988 006 378