SFF Series Controller là dòng bộ điều khiển khí chân không của Alicat Scientific theo chuẩn khung SEMI (SEMI standard footprint), dễ dàng thay thế cho các thiết bị cũ dòng MCE. Thiết kế phụ kiện gia công (machined fittings) giúp giảm số bề mặt cần làm kín, tăng độ tin cậy.
|
20 SLPM
Lưu lượng tối đa
|
10.000:1
Tỷ lệ turndown
|
98
Loại khí hiệu chuẩn
|
SEMI
Chuẩn khung lắp đặt
|
Thông số kỹ thuật
SFF Series Controller
Vì sao chọn SFF Series
Điểm nổi bật
|
|
||||
|
|
||||
|
|
Ứng dụng thực tế
SFF Series Controller được sử dụng trong
|
01
Sản xuất bán dẫn
Lắp đặt theo chuẩn SEMI trong dây chuyền chế tạo wafer, chip
|
02
Nâng cấp thay thế thiết bị cũ
Thay thế trực tiếp dòng MCE mà không cần đổi khung lắp đặt
|
03
Phủ màng mỏng (CVD/ALD/PVD)
Kiểm soát khí chính xác trong buồng chân không phủ màng
|
|
04
Hệ thống chân không công nghiệp
Điều khiển khí trong các quy trình hút chân không chuyên dụng
|
05
Nghiên cứu vật liệu màng mỏng
Ứng dụng trong phòng thí nghiệm nghiên cứu coating tiên tiến
|
06
Xử lý bề mặt chân không
Ứng dụng trong etching, sputtering và xử lý bề mặt
|
Cần tư vấn chọn đúng model SFF Series?
Đội ngũ kỹ sư NNT Vietnam – nhà phân phối độc quyền Alicat tại Việt Nam – hỗ trợ tư vấn cấu hình và báo giá miễn phí.
Gọi ngay 0988 006 378
