PCX Series là bộ điều khiển áp suất có khả năng chống ăn mòn cao nhất trong dòng PC Series của Alicat Scientific, sử dụng gioăng kim loại (metal seals) với tỷ lệ rò rỉ ngoài cực thấp, tương thích chuẩn SEMI F36. Lý tưởng cho các ứng dụng đòi hỏi độ kín khít và độ tinh khiết cao nhất.
500 Torr–100 PSIA
Dải áp suất toàn thang
±0,125%
Độ chính xác
30 ms
Đáp ứng nhanh nhất
<1×10¹&sup0;
Tỷ lệ rò rỉ (atm-cc/sec He)
Thông số kỹ thuật
Điểm nổi bật
01
Độ kín khít vượt trội
Tỷ lệ rò rỉ ngoài dưới 1×10¹&sup0; atm-cc/sec He
02
Gioăng kim loại bền bỉ
Chống ăn mòn cao nhất trong dòng PC Series
03
Tương thích chuẩn SEMI F36
Đáp ứng yêu cầu khắt khe của ngành bán dẫn
04
Đáp ứng nhanh 30 ms
Kiểm soát tức thời cho quy trình yêu cầu cao
05
Turndown 10.000:1
Kiểm soát chính xác trên dải rất rộng
06
Bảo hành trọn đời
Cam kết chất lượng dài hạn từ Alicat
Ứng dụng thực tế
01
Sản xuất bán dẫn
Kiểm soát áp suất khí đặc chủng độ tinh khiết cao
02
Ngành chân không cao
Ứng dụng yêu cầu độ kín khít tuyệt đối
03
Xử lý khí ăn mòn đặc biệt
Vật liệu gioăng kim loại chịu ăn mòn mạnh
04
Nghiên cứu vật liệu tiên tiến
Kiểm soát áp suất chính xác trong môi trường nhạy cảm
05
Công nghệ màng mỏng
Kiểm soát áp suất khí trong lắng đọng màng mỏng
06
Thiết bị phân tích độ chính xác cao
Đảm bảo độ tinh khiết khí đầu vào
Cần tư vấn về PCX Series?
Liên hệ NNT Vietnam – Nhà phân phối độc quyền Alicat Scientific tại Việt Nam
Liên hệ báo giá ngay
