MCVS Series Controller

Mã sản phẩm: MCVS Series Controller

Chính Hãng Alicat Scientific

Dải đo: 0,5 SCCM – 20 SLPM

Đặc điểm: Chống ăn mòn kết hợp van chốt khí nén, độ kín rò rỉ cực thấp

Loại: Bộ điều khiển khí chân không chống ăn mòn có van chốt – dòng MCVS

Thương hiệu: Alicat Scientific (Mỹ) – NNT Vietnam phân phối độc quyền

Liên hệ báo giá ngay

Liên hệ

Chia sẻ:

Thông tin sản phẩm

MCVS Series Controller là phiên bản cao cấp nhất trong họ vacuum controller của Alicat Scientific, kết hợp chống ăn mòn và van chốt khí nén tích hợp. Lựa chọn tối ưu cho quy trình chân không đòi hỏi cả độ bền hóa học lẫn khả năng ngắt dòng khí kín tuyệt đối.

20 SLPM

Lưu lượng tối đa

128+

Loại khí hiệu chuẩn

±0,2%

Độ lặp lại (FS)

1x10⁻⁹

Độ kín rò rỉ (atm-cc/giây He)

Thông số kỹ thuật

Thông số	Giá trị
Công nghệ đo	Laminar Differential Pressure (DP)
Dải lưu lượng full scale	0,5 SCCM – 20 SLPM
Dải điều khiển ổn định (steady state)	1% – 100% full scale
Độ chính xác	Tốt nhất ±0,4% giá trị đọc và ±0,2% full scale
Số loại khí hiệu chuẩn	128+ loại khí cài sẵn, bao gồm khí ăn mòn
Van chốt khí	Tích hợp van khí nén (pneumatic), độ kín rò rỉ 1x10⁻⁹ atm-cc/giây Heli tối đa
Độ lặp lại (repeatability)	±0,2% full scale
Chuẩn khung (form factor)	SEMI-compatible, chống ăn mòn
Giao thức truyền thông	RS-232/485, Analog, Modbus RTU/TCP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFIBUS, PROFINET, IO-Link
Cấp bảo vệ	IP40 (mặc định); tùy chọn IP66, IP67
Bảo hành	Trọn đời có giới hạn

Vì sao chọn MCVS Series

Điểm nổi bật

01	Chống ăn mòn + van chốt tích hợp Kết hợp 2 ưu điểm trong cùng một thiết bị

02	Độ kín rò rỉ cực thấp 1x10⁻⁹ atm-cc/giây Heli, an toàn cho quy trình chân không

03	128+ khí hiệu chuẩn sẵn Linh hoạt cho nhiều loại khí đặc biệt và ăn mòn

04	Độ lặp lại ±0,2% FS Ổn định cao qua nhiều chu kỳ vận hành

05	Không cần van ngoài Tiết kiệm không gian và chi phí lắp đặt hệ thống

06	Bảo hành trọn đời có giới hạn Cam kết chất lượng dài hạn từ Alicat Scientific

Ứng dụng thực tế

MCVS Series Controller được sử dụng trong

01 Phủ màng mỏng với khí ăn mòn Kiểm soát khí ăn mòn chính xác và kín tuyệt đối trong buồng chân không	02 Sản xuất bán dẫn cao cấp Ứng dụng cho quy trình cần cả chống ăn mòn lẫn ngắt dòng khí	03 Hệ thống chân không hóa chất Điều khiển khí ăn mòn trong quy trình hút chân không chuyên dụng
04 Kiểm tra rò rỉ với khí ăn mòn Ứng dụng cần độ kín tuyệt đối khi ngắt dòng khí ăn mòn	05 Nghiên cứu vật liệu màng mỏng Ứng dụng trong phòng thí nghiệm nghiên cứu coating tiên tiến	06 Xử lý bề mặt bằng khí ăn mòn Ứng dụng trong etching, sputtering với khí ăn mòn

Cần tư vấn chọn đúng model MCVS Series?

Đội ngũ kỹ sư NNT Vietnam – nhà phân phối độc quyền Alicat tại Việt Nam – hỗ trợ tư vấn cấu hình và báo giá miễn phí.

Gọi ngay 0988 006 378