MCS Series Controller là dòng bộ điều khiển lưu lượng khối lượng khí chống ăn mòn của Alicat Scientific, sử dụng vật liệu tiếp khí giảm ăn mòn (thép không gỉ 316L/303/430FR, FFKM), phù hợp với cả khí ăn mòn và không ăn mòn. Tích hợp sẵn tới 128 hiệu chuẩn khí Gas Select™, chuyển đổi loại khí không cần hiệu chuẩn lại.
|
12.000 SLPM
Lưu lượng tối đa
|
128
Hiệu chuẩn khí
|
100:1
Tỷ lệ turndown
|
30 ms
Đáp ứng nhanh nhất
|
Thông số kỹ thuật
MCS Series Controller
Vì sao chọn MCS Series
Điểm nổi bật
|
|
||||
|
|
||||
|
|
Ứng dụng thực tế
MCS Series Controller được sử dụng trong
|
01
Bán dẫn & khắc ăn mòn
Kiểm soát khí HCl, Cl2 trong khắc plasma, lắng đọng CVD bán dẫn
|
02
Xử lý hóa chất ăn mòn
Kiểm soát khí ăn mòn trong quy trình hóa chất, dược phẩm
|
03
Pha trộn khí đặc biệt
Trộn khí ăn mòn và không ăn mòn chính xác, ổn định
|
|
04
Xử lý khí thải
Đo và kiểm soát khí thải trong hệ thống scrubber
|
05
Nghiên cứu vật liệu
Thử nghiệm ăn mòn, phân tích khí trong phòng thí nghiệm
|
06
Dược phẩm & hóa chất
Kiểm soát khí đặc biệt trong sản xuất dược phẩm
|
Cần tư vấn chọn đúng model MCS Series?
Đội ngũ kỹ sư NNT Vietnam – nhà phân phối độc quyền Alicat tại Việt Nam – hỗ trợ tư vấn cấu hình và báo giá miễn phí.
Gọi ngay 0988 006 378
