MCD Series Controller là dòng bộ điều khiển lưu lượng khí hai chiều của Alicat Scientific, tích hợp 2 van điều khiển trên cùng một thiết bị để kiểm soát dòng khí theo cả hai hướng thuận và nghịch. Nền tảng công nghệ dựa trên MC Series (có thể tùy chọn theo chuẩn MCS chống ăn mòn, MCQ áp suất cao, hoặc MCW pressure-drop thấp) – hiệu năng tương đương, chỉ khác biệt về kích thước do bổ sung van thứ hai.
|
3.000 SLPM
Lưu lượng tối đa
|
2 Van
Điều khiển 2 chiều
|
±0,5%
Độ chính xác
|
160 PSIA
Áp suất tối đa
|
Thông số kỹ thuật
MCD Series Controller
Vì sao chọn MCD Series
Điểm nổi bật
|
|
||||
|
|
||||
|
|
Ứng dụng thực tế
MCD Series Controller được sử dụng trong
|
01
Buồng chân không (load-lock)
Kiểm soát nạp khí và hút khí trong buồng chân không bán dẫn
|
02
Hệ thống thu hồi khí
Điều khiển dòng khí hai chiều trong thu hồi và tái sử dụng khí
|
03
Kiểm tra rò rỉ hai chiều
Kiểm soát nạp/xả khí trong quy trình kiểm tra rò rỉ
|
|
04
Hiệu chuẩn thiết bị đo
Tạo dòng khí chuẩn hai chiều cho hiệu chuẩn cảm biến
|
05
Nghiên cứu khí động học
Kiểm soát dòng khí thuận nghịch trong thí nghiệm khoa học
|
06
Xử lý khí công nghiệp
Điều tiết lưu lượng khí ra vào trong quy trình sản xuất
|
Cần tư vấn chọn đúng model MCD Series?
Đội ngũ kỹ sư NNT Vietnam – nhà phân phối độc quyền Alicat tại Việt Nam – hỗ trợ tư vấn cấu hình và báo giá miễn phí.
Gọi ngay 0988 006 378
