Đảm bảo an toàn lò bán dẫn thông qua hệ thống kiểm soát làm mát chính xác.
Lò cảm ứng trong sản xuất chất bán dẫn yêu cầu làm mát an toàn để ngăn ngừa các sự cố nghiêm trọng và mất mát wafer. Bài viết này giải thích cách công tắc dòng chảy tham số kép giảm thiểu rủi ro bằng cách:
-
Theo dõi đồng thời lưu lượng/nhiệt độ : Phát hiện độ lệch nhỏ tới 0,2 L/phút và ±0,3°C .
-
Bảo vệ nhiều giai đoạn : Tự động giảm công suất hoặc bắt đầu tắt máy trong vòng <100ms khi có sự bất thường.
-
Độ bền đạt tiêu chuẩn bán phần : Thép không gỉ 316L chống lại chất làm mát ăn mòn và áp suất tăng đột biến.
Cảm biến lưu lượng nước của chúng tôi đạt độ chính xác ±0,5% trong hệ thống làm mát lò cảm ứng.
Một nghiên cứu điển hình chứng minh thời gian hoạt động được cải thiện 99,9% đối với nhà máy sản xuất wafer 300mm.
[Khám phá các giải pháp làm mát →]
Vai trò quan trọng của việc làm mát trong lò cảm ứng bán dẫn.
Hoạt động ở nhiệt độ 1.400–1.600°C, lò cảm ứng làm nóng chảy silic để hình thành tinh thể. Sự cố làm mát gây ra:
-
Vết nứt trong lò nung thạch anh : Chi phí thay thế lên tới 250.000 đô la.
-
Ô nhiễm wafer : Tạp chất kim loại từ rò rỉ nóng chảy.
-
Thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch : 8+ giờ để khởi động lại chu kỳ lò sưởi.
Công tắc dòng chảy tham số kép ngăn ngừa thảm họa như thế nào
1. Giám sát độ chính xác nano
-
Phạm vi lưu lượng : 0,5 đến 40 L/phút (±0,5% FS) để điều chỉnh nước DI chính xác.
-
Phạm vi nhiệt độ : 0 đến 100°C (±0,3°C) với cảm biến cấp PT1000.
-
Logic chức năng chéo : Phân biệt lỗi bơm (lưu lượng thấp + nhiệt độ tăng) với tắc nghẽn một phần (lưu lượng thấp + nhiệt độ ổn định).
2. Hành động bảo vệ tức thì
-
Cảnh báo giai đoạn 1 : Thông báo cho người vận hành khi ngưỡng lưu lượng/nhiệt độ đạt 90%.
-
Phản ứng giai đoạn 2 : Giảm 50% công suất sưởi ấm thông qua PLC.
-
Tắt lò ở giai đoạn 3 : Cô lập lò nếu lưu lượng giảm xuống dưới 70% trong >3 giây.
[Tải xuống Hướng dẫn tối ưu hóa làm mát lò sưởi →]
3. Bền bỉ cho môi trường khắc nghiệt
-
Xếp hạng 150 PSI : Chịu được lực búa nước từ việc đóng van nhanh.
-
Cấp bảo vệ IP67 : Hoạt động ngập trong bể chứa chất làm mát.
-
Không có kích hoạt sai : Tấm chắn EMI ngăn chặn nhiễu tín hiệu ở vùng RF cao.
Nghiên cứu điển hình: Sản xuất wafer silicon 300mm
Một xưởng đúc hàng đầu đã đạt được:
-
Thời gian hoạt động 99,9% : Loại bỏ 12 lần tắt lò/năm.
-
Tiết kiệm năng lượng 30% : Làm mát tối ưu phù hợp với chu kỳ nóng chảy.
Ưu điểm kỹ thuật
-
Cảm biến tự làm sạch : Xung siêu âm ngăn ngừa sự tích tụ khoáng chất.
-
Đầu ra đa giao thức : tích hợp 4–20mA, ModBus hoặc EtherCAT.
